XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀(自動吸引式)
于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀(自動吸引式)技術(shù)參數(shù):
型 號 | XP-703D |
檢測對象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等) |
檢測原理 | 型半導(dǎo)體式 |
采樣方式 | 自動吸引式 |
可檢測濃度 | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 |
檢測表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |
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